片柳研究所 バイオナノテクセンター
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薄膜作製装置（スパッター）
三次元精密加工装置（ロボドリル）
マスクアライナー〈ミカサ製〉
スピンコーター〈ミカサ製〉
電子顕微鏡用蒸着装置〈日本電子製〉
アルゴンイオン試料作製装置〈日本電子製〉
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