装置構成

超微細加工?製造装置

フェムト秒レーザー超微細加工システム
フェムト秒レーザー超微細加工システム
マイクロ光造形法に用いられる装置です。マイクロカンチレバーやマイクロ流路などのマイクロデバイスの製作に使われます。この装置は、新規のマイクロデバイスの開発やタンパク質相互作用の研究、超小型バイオセンサーの製作への応用が可能です。
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フェムト秒レーザー超微細加工システムの特長
フェムト秒レーザーによる200nm以下の微細加工が可能
3次元光造形、細胞加工、流路加工などに利用可能
フェムト秒レーザー超微細加工システムの主な仕様
波長 750nm±10nm
外部から調整を加えることなく波長シフトが可能で、パルス幅100フェムト秒以内、最大出力0.7W